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CF4氣體分析儀的精度如何?

更新時(shí)間:2024-12-29瀏覽:300次
CF4氣體分析儀的精度主要取決于其技術(shù)原理、設(shè)計(jì)以及校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)。以下是對(duì)CF4氣體分析儀精度的詳細(xì)分析:
 
一、技術(shù)原理對(duì)精度的影響
 
CF4氣體分析儀可能采用多種技術(shù)原理,包括但不限于電化學(xué)原理、紅外光聲光譜原理等。
 
電化學(xué)原理:
 
采用電化學(xué)傳感器的CF4氣體檢測(cè)儀,如某些管道式CF4四氟化碳?xì)怏w檢測(cè)儀,其精度可以達(dá)到一定的水平。例如,某款產(chǎn)品的常規(guī)量程為0-10PPM,高分辨率0.01PPM,精度為3%。
 
電化學(xué)原理的CF4氣體分析儀具有響應(yīng)速度快、測(cè)量范圍廣等優(yōu)點(diǎn),但其精度可能受到溫度、濕度等環(huán)境因素的影響。
 
紅外光聲光譜原理:
 
基于紅外光聲光譜技術(shù)的CF4氣體分析儀,如DKGONE-CF4分析儀,其精度通常更高。這類(lèi)分析儀結(jié)合了超靈敏懸臂梁增強(qiáng)光聲光譜探測(cè)技術(shù)和量子級(jí)聯(lián)激光(QCL)光源,工作于CF4的中紅外基本光譜吸收峰,提供了足夠的靈敏度來(lái)探測(cè)最微小濃度的CF4溢出。
 
紅外光聲光譜原理的CF4氣體分析儀具有高精度、高穩(wěn)定性、長(zhǎng)校準(zhǔn)周期等優(yōu)點(diǎn)。例如,DKGONE-CF4分析儀的檢測(cè)限可以低于0.1ppb,動(dòng)態(tài)量程可達(dá)典型5級(jí)(100,000倍檢測(cè)限),重復(fù)性小于1%的測(cè)量值(在工作條件標(biāo)準(zhǔn)濃度下),準(zhǔn)確度取決于校準(zhǔn)濃度標(biāo)準(zhǔn)氣體的精度,典型為2~5%。
 
二、設(shè)計(jì)對(duì)精度的影響
 
CF4氣體分析儀的設(shè)計(jì)也會(huì)影響其精度。例如:
 
儀器的防爆等級(jí)、氣體接口設(shè)計(jì)、采樣方式(如管道式、泵吸式、擴(kuò)散式)等都會(huì)影響儀器的測(cè)量精度。
 
儀器的分辨率也是影響精度的重要因素。高分辨率的儀器能夠更準(zhǔn)確地測(cè)量CF4氣體的濃度。
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